雙級(jí)型的滑閥泵,實(shí)際上是由兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來的。它的高、低真空室在同一泵體上,有的是直接鑄成一個(gè)整體,是壓入中隔板把泵腔分成高、低兩室。
滑閥泵亦分單級(jí)泵和雙級(jí)泵兩種,有立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)形式。單級(jí)泵的極限壓力為0.4~1.3Pa;雙級(jí)泵的極限壓力為6×10-2 —10-1Pa。一般抽速超過150L/S的大泵都采用單級(jí)形式。這種泵可單獨(dú)使用,也可作其它泵的前級(jí)泵用。
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