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深圳市昌達(dá)利工業(yè)氣體公司

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高純氮?dú)獾挠猛竞?jiǎn)單介紹
發(fā)布時(shí)間:2015-07-31        瀏覽次數(shù):1226        返回列表
純度是氮?dú)獾囊粋€(gè)重要技術(shù)參數(shù),按國(guó)標(biāo)氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)?、純氮和高純氮?dú)馊?jí),它們的純度分別為99.5%(O2≤0.5%),99.99%(O2≤0.01%)和99.999%(O2≤0.001%)性質(zhì):純度大于99.999%。無(wú)色無(wú)臭無(wú)味無(wú)毒的惰性氣體。相對(duì)密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴(kuò)散源的攜帶氣,在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮?dú)庠?a target="_blank" >外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。

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