普旭真空泵維修 愛(ài)德華真空泵維修 里其樂(lè)真空泵維修 萊寶真空泵維修 貝克真空泵維修
愛(ài)德華干式真空泵維修IH80/IH160：Edwards半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
愛(ài)德華干式真空泵維修IH80/IH160
Edwards半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、
提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了
高可靠性。
功能和優(yōu)勢(shì):
優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低
了總體占地面積。
技術(shù)參數(shù)：
極限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr? / 1 Pa
進(jìn)氣口連接：ISO63
出口連接：NW40
重量：244 kg
極限功率輸入：3.1 kW
電機(jī)額定功率：5.0 kW
免責(zé)聲明：（1）以上所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)，環(huán)球塑化網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。我們?cè)瓌t上建議您優(yōu)先選擇“塑企通”會(huì)員合作! （2）同時(shí)我們鄭重提醒各位買(mǎi)/賣(mài)家，交易前請(qǐng)?jiān)敿?xì)核實(shí)對(duì)方身份，切勿隨意打款或發(fā)貨，謹(jǐn)防上當(dāng)受騙。如發(fā)現(xiàn)虛假信息，請(qǐng)向環(huán)球塑化網(wǎng)舉報(bào)。
