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東莞日成真空泵維修有限公司

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愛(ài)德華干式真空泵維修IH80/IH160

愛(ài)德華干式真空泵維修IH80/IH160

  • 產(chǎn)品型號(hào):套
  • 產(chǎn)品規(guī)格:IH80/IH160
  • 產(chǎn)品品牌:EDWARDS愛(ài)德華
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  • certification-photo1
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

愛(ài)德華干式真空泵維修IH80/IH160:Edwards半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

產(chǎn)品詳情

愛(ài)德華干式真空泵維修IH80/IH160

Edwards半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、

提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了

高可靠性。

功能和優(yōu)勢(shì):

優(yōu)化了設(shè)施消耗。

無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。

懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。

在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低

了總體占地面積。

技術(shù)參數(shù):

極限真空1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr? / 1 Pa

進(jìn)氣口連接:ISO63

出口連接:NW40

重量:244 kg

極限功率輸入:3.1 kW

電機(jī)額定功率:5.0 kW

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